A-Z晶體(tǐ)及材料 加熱爐系列 樣品處理(lǐ)設備 電(diàn)池制備設備 分(fēn)析檢測設備 其他(tā)實驗室設備 技(jì )術支持/服務(wù)培訓
| 控制面闆 | · 蒸汽壓力、ALD以及氣體(tǐ)流量參數均可(kě)通過一6英寸接觸屏由PLC進行控制 · 兩個ALD進氣閥 · 請點擊下圖查看控制面闆（點擊圖片查看詳細資料） |
| 産(chǎn)品特點 | 1.配備雙通道ALD氣閥 2.配備氣液混合系統 3.多(duō)種加熱區(qū)與質(zhì)子流量計規格可(kě)選 4.模塊化設計，自由的搭建方案 |
| ALD進氣閥 | 兩個ALD脈沖電(diàn)磁閥（最小(xiǎo)可(kě)在10ms完成閥門的開啓或關閉）
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| 精(jīng)密液體(tǐ)氣相發生器 | 精(jīng)密液體(tǐ)氣相發生器包含在本系統中(zhōng)并且連接到ALD進氣閥
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| 雙溫區(qū)管式爐 | · 連續工(gōng)作(zuò)的最高溫度為(wèi)1100℃ · 兩個溫區(qū)由兩個獨立的溫控系統來控制，而且都為(wèi)50段程序化控溫 · 每個加熱區(qū)長(cháng)度為(wèi)200mm，加熱區(qū)總長(cháng)度為(wèi)400mm · 爐管兩端放置管堵時兩溫區(qū)的最大溫度差為(wèi)500℃ · 輸入電(diàn)壓：208-240V AC，單向 · 最大功率為(wèi)4KW
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| 防腐型數顯真空計 | · 測量範圍：3.8x10-5 -1125 Torr · 耐腐蝕 · 對于氣體(tǐ)的壓力檢測具(jù)有(yǒu)較高的精(jīng)确度和重複性 · 可(kě)實現快速的氣體(tǐ)監測，響應時間較短 · 易于更換插頭及傳感元件
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| 真空泵（選配） | · 管内真空度可(kě)達10-2Torr · 真空泵不包含在本系統内，如您進行CVD實驗可(kě)點擊下圖選購(gòu)無油渦旋真空泵 |
| 混氣系統 | · 可(kě)選購(gòu)氣液混合裝(zhuāng)置，用(yòng)于CVD系統 · 可(kě)選購(gòu)恒溫控制模塊 |
| 更新(xīn)觀念 | · 您可(kě)采用(yòng)ALD設備搭建等離子增強原子層沉積+化學(xué)氣相沉積系統（PE-ALD+CVD）和等離子增強原子層沉積+物(wù)理(lǐ)氣相沉積+化學(xué)氣相沉積系統（PE-ALD+PVD+CVD），用(yòng)于生長(cháng)各類材料 · |
| 質(zhì)保期 | 一年保質(zhì)期，終身維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈） |
| 質(zhì)量認證 | · 如您另付費用(yòng)，我們可(kě)保證單台儀器通過TUV（UL61010）或CSA認證 |
| 注意事項 | · 爐管内氣壓不可(kě)高于0.02MPa · 由于氣瓶内部氣壓較高，所以向爐管内通入氣體(tǐ)時，氣瓶上必須安(ān)裝(zhuāng)減壓閥，建議在本公(gōng)司選購(gòu)減壓閥，本公(gōng)司減壓閥量程為(wèi)0.01MPa-0.1MPa,使用(yòng)時會更加精(jīng)确安(ān)全 · 當爐體(tǐ)溫度高于1000℃時，爐管内不可(kě)處于真空狀态，爐管内的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀态 · 進入爐管的氣體(tǐ)流量需小(xiǎo)于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 · 點擊此處了解如何選擇本公(gōng)司石英/陶瓷管以及管式爐真空法蘭 本公(gōng)司有(yǒu)權随時修改PE-CVD系統的設計不再另行通知，但我們保證修改之後的儀器質(zhì)量可(kě)以達到和超過上述标準 |
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