1200℃小(xiǎo)型分(fēn)體(tǐ)式 真空管式爐 (130mm管徑)
關鍵字:
單溫區(qū)、真空、分(fēn)體(tǐ)式
型号:
OTF-1200X-5S
産(chǎn)品概述:
OTF-1200X-5S是一款CE認證的小(xiǎo)型開啓式管式爐,其最高工(gōng)作(zuò)溫度可(kě)以達到1100℃。爐管Φ130mm(或100mm)的高純石英管。設備配有(yǒu)一對不鏽鋼密封法蘭,可(kě)在真空或氣氛保護環境下對樣品進行熱處理(lǐ)。對于控溫系統,可(kě)設置50段升降溫程序,控溫精(jīng)度為(wèi)+/- 1℃。此款管式爐最多(duō)可(kě)對5英寸的晶片進行退火。
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技(jì )術參數産(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用(yòng)提示配件詳情
名(míng)稱

1200℃小(xiǎo)型分(fēn)體(tǐ)式真空管式爐(130mm管徑)--OTF-1200X-5S 

産(chǎn)品提示

1、危險設備使用(yòng)提示    2、科(kē)晶實驗室邀請提示    3、配件妥善保管提示    4.多(duō)型号可(kě)選提示

主要特點

·5英寸的石英管和鉸鏈法蘭,寬大的腔體(tǐ)可(kě)作(zuò)為(wèi)箱式氣氛爐用(yòng)(避免了箱式爐爐膛污染問題)

·可(kě)用(yòng)于四英寸基片退火

·可(kě)以作(zuò)為(wèi)模塊,DIY ALD CVD PVD 蒸發爐 回轉爐等(具(jù)體(tǐ)請緻電(diàn))

·采用(yòng)高純氧化鋁纖維作(zuò)為(wèi)爐膛材料,并且表面塗有(yǒu)高溫氧化鋁塗層,可(kě)提高加熱效率

·采用(yòng)ABB電(diàn)器元件

注:鉸鏈法蘭選配

主要特點1-水印.gif 主要特點2-水印.gif 主要特點3.jpg 主要特點4.jpg 主要特點5.jpg



特别推薦:視頻會議産(chǎn)品展示(請點擊此鏈接)



相關視頻

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           操作(zuò)視頻                     拆裝(zhuāng)熱電(diàn)偶

基本參數

·工(gōng)作(zuò)溫度:1100℃(<0.5小(xiǎo)時) 

·連續工(gōng)作(zuò)溫度:1000℃

·建議加熱速率:≦10℃/min

·加熱區(qū)長(cháng)度:300mm 

·加熱元件:摻钼鐵鉻鋁合金

·電(diàn)壓:AC 220V 50Hz 

·功率:3KW

·熱電(diàn)偶:K型

更多(duō)參數請聯系我們


爐體(tǐ)結構

·配有(yǒu)一對不鏽鋼密封法蘭,采用(yòng)矽膠密封圈密封

·石英管尺寸:Φ130×750mm

·配有(yǒu)2個氧化鋁管堵,使用(yòng)設備時應放在爐管兩端,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性

·右端法蘭為(wèi)KF25接口,用(yòng)于連接真空泵

·真空度:10-2torr (采用(yòng)機械泵) 

·安(ān)裝(zhuāng)有(yǒu)一機械壓力表,測量範圍為(wèi)-0.1~0.15MP

·采用(yòng)PID方式調節溫度,可(kě)設置50段升降溫程序

·帶有(yǒu)超溫和斷偶保護


     圖片1.png  爐體(tǐ)結構6.png 


溫控系統

·包含一款YD858P型溫度控制器;

·PID自動控溫系統;

·智能(néng)化50段可(kě)編程控制;

·内置過熱保護和熱電(diàn)偶故障報警;

·控溫精(jīng)度:±1℃;

·默認DB9 PC通信連接端口;

·通過MET認證;

·可(kě)選購(gòu)電(diàn)腦溫度控制軟件(用(yòng)于YD858P系列控制器)用(yòng)于控制升溫曲線(xiàn)和導出數據;

圖片2.png


真空系統(選配)

·采用(yòng)雙旋片式機械泵真空度可(kě)以達到10-2toor

·如果想要獲得更高的真空度(10-5toor or better)可(kě)選購(gòu)國(guó)産(chǎn)或進口高真空機組

 圖片3.png 



外形尺寸

·爐蓋關閉尺寸:440mm(長(cháng))×440mm(寬)×460mm(高)

·帶法蘭支撐(每個260mm),總長(cháng):960mm(長(cháng))×440mm(寬)×460mm(高)

·爐蓋打開尺寸:440mm(長(cháng))×440mm(寬)×700mm(高)

·帶法蘭支撐(每個260mm),總長(cháng):960mm(長(cháng))×650mm(寬)×700mm(高)

·溫度控制器單位:260mm(長(cháng))×350mm(寬)×410mm(高)

重量:約48KG


外形尺寸.jpg

認證

·此産(chǎn)品已通過CE認證

  證書編号: M.2021.206.C67997

·若客戶出認證費用(yòng),本公(gōng)司保證單台設備通過德(dé)國(guó)TUV認證或CAS認證

圖片1.png


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護

· 特别提示:

1、耗材部分(fēn)如加熱元件、石英管、樣品坩埚等不包含在内

因使用(yòng)腐蝕性氣體(tǐ)和酸性氣體(tǐ)造成的損害不在保修範圍内



産(chǎn)品在線(xiàn)展示

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點擊圖片預約

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科(kē)晶實驗室用(yòng)此設備做出的部分(fēn)結果,以供您參考。

以下數據僅針對合肥科(kē)晶設備,不具(jù)有(yǒu)普遍性。如果您想了解詳細實驗方法,請聯系科(kē)晶實驗室索取詳細實驗報告。同時歡迎您帶着材料重複下列參數。

矽鋼退火

        實驗室案例1.png

Nb2O5粉(未處理(lǐ)前)      Nb2O5粉(處理(lǐ)後)

   實驗室案例2.png       實驗室案例3.png

熱處理(lǐ)矽片

主要特點2-水印.gif實驗室案例4.jpg


Poster—粉末冶金(钛片退火).jpg

1642400367(1).jpg




相關可(kě)選

配置可(kě)選1.jpg

可(kě)選購(gòu)5英寸的水冷鉸鏈法蘭,并帶有(yǒu)支撐架

備注:鉸鏈法蘭

配置可(kě)選2.png


可(kě)選購(gòu)數顯防腐真空計

配置可(kě)選5.png


您可(kě)能(néng)需要在真空端部安(ān)裝(zhuāng)一個手動擋闆閥

配置可(kě)選8.png

可(kě)選購(gòu)歐陸型溫控儀表,控溫精(jīng)确度可(kě)以提升到±0.1℃。

配置可(kě)選3.jpg                   配置可(kě)選4.jpg


可(kě)選購(gòu)石英管堵,提高爐管内的潔淨度和幫助獲得高真空

配置可(kě)選13.png

可(kě)選購(gòu)MTS02-B控溫模塊,可(kě)用(yòng)電(diàn)腦設置和顯示溫度程序

配件可(kě)選6.png                        配件可(kě)選7.jpg


可(kě)選購(gòu)铠裝(zhuāng)K型熱電(diàn)偶,通過法蘭的铠裝(zhuāng)孔伸入到爐管内部,測量樣品的實際溫度

     配置可(kě)選9.png             配置可(kě)選10.png             配置可(kě)選11.png


可(kě)選配件12.png


您可(kě)以訂購(gòu)帶真空泵和溫度校準套件的爐子


相關産(chǎn)品
公(gōng)司簡介

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