A-Z晶體(tǐ)及材料 加熱爐系列 樣品處理(lǐ)設備 電(diàn)池制備設備 分(fēn)析檢測設備 其他(tā)實驗室設備 技(jì )術支持/服務(wù)培訓
名(míng)稱型号 | ·1200℃自動化管式爐(150mm管徑,用(yòng)于AI材料實驗) GSL-1200XS6-ASD |
産(chǎn)品特點 | ·可(kě)配合協助機器人完成自動放樣,自動關閉及密封法蘭,通入惰性氣體(tǐ)清洗,自動控制供氣流量,升溫,恒溫,降溫,自動打開法蘭取出樣品,可(kě)以進行多(duō)次循環操作(zuò) ·通過機器人實現對樣品自動放取,實現工(gōng)藝的完全自動化, ·購(gòu)買多(duō)台設備可(kě)以實現高通量樣品燒結,一台機器人對多(duō)台設備進行取放樣。 ·雙層殼體(tǐ)結構并帶有(yǒu)風冷系統。 ·帶有(yǒu)數顯真空計可(kě)做微正壓恒壓控制(103000-120000 Pa),維持爐内的壓力, ·高純度氧化鋁纖維絕熱材料更加節能(néng) |
加熱爐基本參數 | ·電(diàn)源電(diàn)壓要求:AC 208-240V 單相, 50/60 Hz ·功率:6KW ·最高溫度:1200℃(≤30min) ·連續工(gōng)作(zuò)溫度:1100℃ ·加熱區(qū)長(cháng)度:350mm ·加熱元件:電(diàn)阻絲(摻钼鐵鉻鋁合金) ·熱電(diàn)偶類型:K型 ·推薦升溫速率:≦10℃/min(≤1400℃) ·爐管: 尺寸:φ150*600mm(長(cháng)) 材質(zhì):高純石英 (注:剛玉屬于易損易耗,不在質(zhì)保範圍内) |
溫控系統 | · 包含一款858P型溫度控制器(也可(kě)選配歐陸儀表恒溫精(jīng)度可(kě)達±0.1℃) · PID自動控溫系統 · 智能(néng)化50段可(kě)編程控制 · 通過UL認證 · 控溫精(jīng)度:±1℃ |
不鏽鋼法蘭密封系統 /及接口設置 | ·一套6英寸全自動密封不鏽鋼水冷法蘭,通過電(diàn)缸進行恒壓力密封和自動開啓 ·設備需搭配水冷機使用(yòng)(進出水口為(wèi)φ12mm) ·右端法蘭留有(yǒu)一個G1/4雙卡套出氣口與設備内置出氣系統連接, 一個G1/4铠裝(zhuāng)熱電(diàn)偶插入口用(yòng)于檢測管内溫度 ·右邊法蘭内側有(yǒu)樣品放置平台(支撐架尺寸詳見目錄 樣品台支架) ·左邊留有(yǒu)KF25抽氣口用(yòng)于連接真空泵,配有(yǒu)數顯真空計,一個G1/4進氣口。 ·設備帶有(yǒu)真空泵外接三芯插座和真空電(diàn)磁擋闆閥的外接航空插頭(将真空泵接入插座後,真空泵的運行和電(diàn)磁擋闆閥的開合由該系統自動控制) |
樣品台支架 | ·樣品台支架有(yǒu)兩種: 一種可(kě)以放四個坩埚(坩埚材質(zhì)可(kě)以根據客戶需求定制,如石英,氧化鋁,石墨) 一種可(kě)以放置25-30片四英寸基片的石英支架如下圖 ·樣品台支架材質(zhì)是石英的 ·坩埚尺寸外徑40mm高30mm ·樣品台支架留有(yǒu)機器人抓取位置 ·樣品台帶有(yǒu)刻碼處理(lǐ)便于視覺傳感器捕捉 |
PC機+軟件 | 通過軟件可(kě)以進行以下操作(zuò): ·設置加熱爐升溫曲線(xiàn),設置通入加熱爐内氣體(tǐ)流量大小(xiǎo),設置取放樣循環次數。 ·參數設置完成後,加熱爐配合機器手可(kě)以完成以下流程 1.機器人裝(zhuāng)樣後,能(néng)夠自動關閉艙門 2.通入流動保護氣體(tǐ) 3.執行程序多(duō)段升溫恒溫和降溫步驟(高達50段) 4.程序完成後,停氣,能(néng)夠在500度打開艙門完成換樣, (注:換樣過程中(zhōng)爐子需要盡量恒溫,保持加熱狀态) 5.換樣完成後,可(kě)以繼續重複進行原有(yǒu)的溫度程序。 (程序開源,配合機械手和對軟件進行嵌入式循環工(gōng)藝控制) 6.全流程自動記錄工(gōng)藝 軟件顯示顯示以下參數: ·爐管内壓力 ·設備内置一路0-1000sccm的質(zhì)量流量控制器 ·清洗周期(0-3次) ·前面闆上安(ān)裝(zhuāng)RJ45通信接口,可(kě)連接PC或無線(xiàn)路由器實現遠(yuǎn)程控制(PC和路由器可(kě)另行提供) ·電(diàn)腦操作(zuò)軟件,可(kě)支持多(duō)台加熱爐 ·向現有(yǒu)客戶開放通信代碼,将設備與機器人連接,實現無人操作(zuò) |
自動化協助機器人(選配) | ·額定負載:5KG ·工(gōng)作(zuò)半徑:900mm ·最大臂展:1096mm ·額定電(diàn)壓: DC48V ·本體(tǐ)重量:25KG ·重複定位精(jīng)度:±0.02mm ·通訊方式:TCP/IP,Modbus,無線(xiàn)網絡 ·典型功耗:150W |
冷水機(選配) | · 型号:KJ-5000 · 工(gōng)作(zuò)電(diàn)壓:AC 220V 50HZ · 工(gōng)作(zuò)電(diàn)流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h · 壓縮機功率:300W,水箱容量:6L · 最大流量:16L/min,淨重:24 Kg |
真空度(選配) | · 配套機械泵,真空度可(kě)以達到10-2 torr · 配套分(fēn)子泵,真空度可(kě)以達到10-5 torr |
産(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸:1200*860*1000mm(長(cháng)*寬*高) |
重量 | ·約200kg |
保質(zhì)期 | ·1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
使用(yòng)注意事項 | · 剛玉管内氣壓不可(kě)高于0.02MPa; · 由于氣瓶内部氣壓較高,所以向石英管内通入氣體(tǐ)時,氣瓶上必須安(ān)裝(zhuāng)減壓閥,為(wèi)了确保安(ān)全,建議使用(yòng)壓力低于0.02MPa, 建議在本公(gōng)司選購(gòu)減壓閥,本公(gōng)司減壓閥量程為(wèi)0.01MPa-0.1MPa,使用(yòng)時會更加精(jīng)确安(ān)全; · 設備需在獨立供電(diàn)網下工(gōng)作(zuò),電(diàn)網電(diàn)壓範圍要求在±8%内,不可(kě)與中(zhōng)頻高頻等高磁場發生設備共用(yòng)供電(diàn)網, 并不可(kě)與該類型設備處于同一房間,如無法做到請對電(diàn)網進行諧波檢測和治理(lǐ),對設備進行電(diàn)磁隔離處理(lǐ) · 我們不建議客戶使用(yòng)易燃易爆和有(yǒu)毒的氣體(tǐ),如果客戶工(gōng)藝原因确實需要使用(yòng)易燃易爆和有(yǒu)毒氣體(tǐ), 請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用(yòng)易燃易爆和有(yǒu)毒氣體(tǐ)而造成的相關問題,本公(gōng)司概不負責。 ·設備請遠(yuǎn)離存在液體(tǐ)飛濺場所 ·設備請遠(yuǎn)離存在導磁導電(diàn)粉末 ·保溫和加熱元件為(wèi)損耗件,保溫材料在燒結過程中(zhōng)出現裂紋為(wèi)正常現象,可(kě)使用(yòng)修補劑修補,加熱元件為(wèi)損耗件, 在電(diàn)爐長(cháng)時間使用(yòng)後無法達到工(gōng)作(zuò)溫度和升溫明顯緩慢後聯系廠家判斷是否要進行更換, ·該設備高精(jīng)度溫控範圍為(wèi)500-1600℃,低溫運行會存在溫度振蕩, ·該設備不建議在低于1000℃以下工(gōng)作(zuò),這樣會降低加熱元件的壽命 ·不建議500℃以上開啓爐膛 ·請保持氣動供氣源的壓力穩定(0.5-0.6mpa) ·剛玉管和内置支架等高溫陶瓷部件屬于易損易耗原件,不在質(zhì)保的範圍, |
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