A-Z晶體(tǐ)及材料 加熱爐系列 樣品處理(lǐ)設備 電(diàn)池制備設備 分(fēn)析檢測設備 其他(tā)實驗室設備 技(jì )術支持/服務(wù)培訓
| 電(diàn)源 | ·總功率：3000W ·208-240VAC, 單相, 50/60Hz |
| 微波 | ·頻率：2.45 GHz ±25 MHz ·輸出功率：1400W ·微波洩露率：≤ 3 mW/cm²（1米範圍内） ·一個數字功率調整器用(yòng)于調節功率輸出（10-100%） |
| 加熱模塊和爐管 | ·多(duō)孔SIC輔助加熱，直徑80mm,安(ān)裝(zhuāng)在氧化鋁纖維保溫層内（圖1） ·加熱模塊安(ān)裝(zhuāng)在微波腔體(tǐ)内 ·Φ50mm的石英爐管，中(zhōng)間焊接有(yǒu)石英揚料闆（圖2）
圖1 圖2 |
| 密封法蘭&真空度 | ·一對真空密封法蘭安(ān)裝(zhuāng)在石英爐管兩端 ·KF25真空接口和1/4英寸進氣和出氣口，不鏽鋼針閥安(ān)裝(zhuāng)在法蘭上（圖1） ·一個數顯型防腐真空計安(ān)裝(zhuāng)在法蘭上，用(yòng)于顯示爐管内真空度（圖2） ·真空度：10-2torr（采用(yòng)幹泵） 10-5torr(采用(yòng)分(fēn)子泵系統） ·設備中(zhōng)不包含真空泵，需要額外花(huā)費用(yòng)購(gòu)買，對于CVD實驗建議選用(yòng)幹泵（圖3）
圖1 圖2 圖3 |
| 直連式旋轉通氣接口&轉速 | ·2個直連式轉動通氣接頭安(ān)裝(zhuāng)在兩端法蘭上，可(kě)在爐管一邊轉動時一邊通入氣體(tǐ)。 ·轉動速度：采用(yòng)一個直流電(diàn)機驅動爐管轉動，轉速1-5RPM ·通氣接口規格：Φ6.35mm
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| 工(gōng)作(zuò)溫度 | ·最高工(gōng)作(zuò)溫度：1100℃（≤2小(xiǎo)時） ·連續工(gōng)作(zuò)溫度：1000℃ ·加熱速率：1~20℃/min (可(kě)設置） ·僅僅通過微波約可(kě)以加熱溫度為(wèi)750℃ |
| 溫度控制器 | ·可(kě)設置30段溫度段：加熱速率，保溫時間，降溫速率 ·SCR溫度控制 ·超溫和斷偶保護 ·控溫精(jīng)度：±1℃ ·一根K型熱偶插入到爐管内部
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| 淨重 | ·50kg |
| 設備尺寸 | ·微波發生器：560(L) x 410(W) x 340(H) mm ·設備總深度（包括爐管和法蘭）：780mm ·控制器：600(L) x 520(W) x 265(H) mm |
| 質(zhì)保期 | ·一年質(zhì)保期，終生維護 ·耗材：坩埚，爐管。加熱元件和密封圈不在質(zhì)保期内 |
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