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1700℃質(zhì)子流量混氣高真空管式爐 （配50mm或80mm氧化鋁管，真空10^-4Torr，混氣2-4路可(kě)選）
- 關鍵字：
- CVD、單溫區(qū)、二路質(zhì)子
- 型号：
- GSL-1700X-HVC
- 産(chǎn)品概述：
- GSL-1700X-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統，它是由二路質(zhì)子混氣系統和高真空機組組成，其最高工(gōng)作(zuò)溫度可(kě)達1600℃，極限真空度可(kě)達 to 10^-5 torr。混氣系統可(kě)以對兩種氣體(tǐ)進行精(jīng)确的混氣，然後導入到管式爐内部。
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技(jì )術參數産(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用(yòng)提示配件詳情
| GSL-1700X 系列管式爐
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殼體(tǐ) | · 内爐膛表面塗有(yǒu)美國(guó)進口的高溫氧化鋁塗層可(kě)以提高設備的加熱效率，同時也可(kě)以延長(cháng)儀器的使用(yòng)壽命
· 保溫材料采用(yòng)高純氧化鋁纖維，環保節能(néng)，減少熱量的損失 · 真空泵和氣體(tǐ)混合系統位于移動架上，方便移動. 儀器上已經安(ān)裝(zhuāng)高真空法蘭，閥門，高真空機組 | 爐管 | · 材質(zhì): 高純氧化鋁陶瓷管 · 一根高純氧化鋁陶瓷管已經安(ān)裝(zhuāng)在爐子上 · （标配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1000mm L （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1000mm L | 功率 | 6KW | 工(gōng)作(zuò)電(diàn)壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | 加熱元件 | 8 根1800°C grade MoSi2 heating element | 工(gōng)作(zuò)溫度 | · 最高工(gōng)作(zuò)溫度.: 1650°C（<2h）（更新(xīn)時間：19.12.10--JS2）
連續工(gōng)作(zuò)溫度.: 1600°C | 升溫速率 | ≤5°C/min | 加熱區(qū)長(cháng)度 | 加熱區(qū)長(cháng)度: 457 mm (18") | 溫控系統 | · 采用(yòng)PID方式自動控制，并可(kě)設置50段升降溫程序 · 控溫精(jīng)度: ±1°C · 控溫儀表操作(zuò)視頻 熱電(diàn)偶: B 型，已經安(ān)裝(zhuāng)在爐内 | 真空法蘭 | · 一對不鏽鋼真空密封法蘭已經安(ān)裝(zhuāng) · 法蘭上帶有(yǒu)一機械壓力表 · 兩個精(jīng)密針閥 · 一個KF-25連接器 和KF-25 轉 KF-40 抽氣接口 一個1/4"卡套接頭 | 外形尺寸 | 550 x 380 x 520mm |
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| 高真空機組
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功率 | 100~110W | 工(gōng)作(zuò)電(diàn)壓 | AC 208-240V單相, 50/60Hz | 外形尺寸 | 600(L) x 600(W) x 700(H), mm | 殼體(tǐ) | · 殼體(tǐ)尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm · 最大承載量: 600 Lbs on top · 分(fēn)子泵控制面闆: LCD 數字顯示 内裝(zhuāng)有(yǒu)一 Pfeiffer vacuum pump made in Germany: | 控制面闆 | · 一鍵操作(zuò)：按下"start" 鍵後，隔膜泵和渦輪分(fēn)子泵将會啓動（隔膜泵先啓動等真空度達到10-2mbar後，分(fēn)子泵自動啓動） · 系統控制旋轉速率：根據腔體(tǐ)内的真空度，系統自動控制旋片泵的旋轉速率 
| 抽氣速率 | · N2 33 L/s · He 39 L/s (2340L/minute) H2 32 L/s | 工(gōng)作(zuò)範圍 | 1000 mbar to <1E-7 mbar | 極限 | <1E-8 mbar (without any leaking ) |
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| 質(zhì)量流量控制器
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殼體(tǐ) | · 采用(yòng) 316不鏽鋼制作(zuò) · 混氣箱尺寸: Φ80X120mm · 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm MFC控制面闆 (Click to enlarge)，可(kě)根據客戶要求定制
 | 功率 | 18W | 工(gōng)作(zuò)電(diàn)壓 | AC 208-240V, 單相, 50/60Hz |
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| 質(zhì)保期
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一年質(zhì)保期，相關耗材除外，如爐管，密封圈，等易耗件
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| 質(zhì)量認證
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· 若客戶出認證費用(yòng)，本公(gōng)司保證單台設備通過德(dé)國(guó)TUV認證或CAS認證 
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公(gōng)司環境
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合肥科(kē)晶品牌紀錄片 公(gōng)司環境
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