1700℃三溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 (配60mm氧化鋁管和防腐真空計)
關鍵字:
三溫區(qū) 三通道
型号:
GSL-1700X-III-F3LV
産(chǎn)品概述:
GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統,其爐管直徑為(wèi)60mm,其真空泵采用(yòng)雙旋機械泵,混氣系統為(wèi)3路浮子混氣系統。此高溫爐燒結溫度可(kě)達1700℃,真空度可(kě)達到5x10-2 torr ,可(kě)以混合1-3種氣體(tǐ)。
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爐體(tǐ)結構

· 爐膛材料采用(yòng)高純氧化鋁纖維,最大程度減少能(néng)量損失

· 内爐膛表面塗有(yǒu)美國(guó)進口的高溫氧化鋁塗層可(kě)以提高設備的加熱效率,同時也可(kě)以延長(cháng)儀器的使用(yòng)壽命

三個溫區(qū)分(fēn)别被三個獨立的溫控系統控制


功率

9 KW(需要75A的空氣開關 )


電(diàn)壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 


加熱區(qū)

· 總加熱區(qū)長(cháng)度: 25" (630 mm) 

· 加熱溫區(qū)1長(cháng)度: 7.5" (190 mm) 1400°通過4根矽碳棒加熱,最高溫度可(kě)達1400

· 升溫速率: 10°C/min

· 加熱溫區(qū)2長(cháng)度:: 10" (250 mm)1700°6根矽钼棒加熱,最高溫度可(kě)達1700

·  最快升溫速率: 5°C/min

· 加熱溫區(qū)3長(cháng)度:: 7.5" (190 mm) 1400°通過4根矽碳棒加熱,最高溫度可(kě)達1400

最大升溫速率:  10°C/min



爐管和法蘭尺寸

· 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube

· (标配尺寸) ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L

· (選配尺寸) ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x  1200mm L

· 一對60mm的不鏽鋼密封法蘭,法蘭上已安(ān)裝(zhuāng)閥門和儀表

 儀器中(zhōng)包括4個氧化鋁管堵


溫控系統

· 3個溫控系統,都是PID50段程序化控溫  

控溫儀表操作(zuò)視頻


控溫精(jīng)确度

 +/-1°C


低真空系統

· 采用(yòng)雙旋機械泵,其針對于本公(gōng)司的管式爐,真空度可(kě)達到 10-2 Torr.

一個KF25的不鏽鋼波紋管已安(ān)裝(zhuāng)在真空系統上,其尺寸為(wèi) 25mm Dia x 1000mm length ,可(kě)于管式爐上的法蘭相連接


防腐型數字真空計

· 可(kě)選:本公(gōng)司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量範圍為(wèi)3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體(tǐ)種類不同而需要系數轉換。(點擊圖片查看詳細介紹)

· blob.png


三路浮子混氣系統

· 3個浮子流量計安(ān)裝(zhuāng)在一個移動架上,可(kě)以推動,可(kě)同時混入三種不同氣體(tǐ)。

· 第一路氣體(tǐ)流量範圍為(wèi)10-100 cc/min. 

· 第二路氣體(tǐ)流量範圍為(wèi)16-160 cc/min.

· 第三路氣體(tǐ)流量範圍為(wèi)25-250 cc/min.

· 一個壓力表安(ān)裝(zhuāng)在移動加上,壓力表直接于移動架内的混氣箱相連接

移動架上安(ān)裝(zhuāng)有(yǒu)4個不鏽鋼針閥 


尺寸

高溫爐:   863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H  inch)


質(zhì)保期

· 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) 



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