1200℃三溫區(qū)三通道混氣真空管式爐 (配80mm爐管和防腐真空計)
關鍵字:
三溫區(qū) 三通道
型号:
OTF-1200X-80-III-F3LV
産(chǎn)品概述:
OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統,其管徑為(wèi)80mm,采用(yòng)機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統組成,其真空度可(kě)達到 10-2 torr。
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技(jì )術參數産(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用(yòng)提示配件詳情
殼體(tǐ)結構

· 雙層殼體(tǐ)結構并帶有(yǒu)風冷

· 保溫材料采用(yòng)高純氧化鋁多(duō)晶纖維,可(kě)以減少熱量的損失,環保節能(néng)

· 内爐膛表面塗有(yǒu)美國(guó)進口的1750度高溫氧化鋁塗層可(kě)以提高設備的加熱效率,同時也可(kě)以延長(cháng)儀器的使用(yòng)壽命

可(kě)開啓式,更換爐管方便


功率

5 KW


電(diàn)壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz


加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo


最高工(gōng)作(zuò)溫度

1200℃


連續工(gōng)作(zuò)溫度

1100℃


最大加熱速率

 ≤20  ℃/min



石英管& 密封法蘭

· 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器内

· 儀器上已經安(ān)裝(zhuāng)有(yǒu)不鏽鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息)

· blob.png


加熱區(qū)長(cháng)度

· 三個溫區(qū)長(cháng)度: (880mm, 35" in total)

· 溫區(qū) 1: 220mm  (8.6" )  

· 溫區(qū) 2: 440mm  (17.3")

溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環境的影響,測量結果可(kě)能(néng)會有(yǒu)偏差,此參數僅供參考不作(zuò)為(wèi)該設備的技(jì )術指标。您購(gòu)買産(chǎn)品需要準确的恒溫區(qū)數據,請與我公(gōng)司銷售人員聯系 


溫控系統


· 三個精(jīng)密溫度控制器,可(kě)獨立控溫

· PID控制方式,通過PWM固體(tǐ)繼電(diàn)器。

· 50段可(kě)編程智能(néng)溫度調節儀,并可(kě)設置50段升降溫程序.

· 帶有(yǒu)過熱和斷偶保護功能(néng)

控溫儀表操作(zuò)視頻


控溫精(jīng)度

+/- 1℃


真空密封系統

· 兩個不鏽鋼密封法蘭(上面已安(ān)裝(zhuāng)真空計和截止閥).

· 通過機械泵真空度可(kě)以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用(yòng)機械泵和分(fēn)子泵,真空度可(kě)以達到10-4 torr.

· 漏氣率 < 5 m-torr / min

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真空泵

采用(yòng)雙旋機械泵,機械泵上安(ān)裝(zhuāng)有(yǒu)進口的油污過濾器,可(kě)以過濾真空泵工(gōng)作(zuò)時産(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體(tǐ)健康,過濾的最小(xiǎo)微粒直徑為(wèi)0.3微米
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數字式真空顯示計

可(kě)選:本公(gōng)司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量範圍為(wèi)3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體(tǐ)種類不同而需要系數轉換
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氣體(tǐ)流量計和壓力表

· 三個浮子流量計,能(néng)夠檢測到氣體(tǐ)的流          

· 三路浮子量程分(fēn)别為(wèi)

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 内部安(ān)裝(zhuāng)有(yǒu)一混氣罐

有(yǒu)一壓力表安(ān)裝(zhuāng)在浮子流量供氣系統側面上,可(kě)以檢測氣體(tǐ)壓力及混合槽的壓力


閥門

四個不鏽鋼閥門安(ān)裝(zhuāng)在浮子流量供氣系統側面上,用(yòng)于控制氣體(tǐ)的流量


外形尺寸

· 爐子: 1100 X 450 x 670mm

底部移動架: 600x600x597mm


開門斷電(diàn)

為(wèi)保證使用(yòng)安(ān)全,該電(diàn)爐為(wèi)開門斷電(diàn)設計
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淨重

 90 Kg


運輸重量

  245 lbs


質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件


使用(yòng)注意事項

· 爐管内氣壓不可(kě)高于0.02MPa

· 由于氣瓶内部氣壓較高,所以向爐管内通入氣體(tǐ)時,氣瓶上必須安(ān)裝(zhuāng)減壓閥,建議在本公(gōng)司選購(gòu)減壓閥,本公(gōng)司減壓閥量程為(wèi)0.01MPa-0.1MPa,使用(yòng)時會更加精(jīng)确安(ān)全

· 當爐體(tǐ)溫度高于1000℃時,爐管内不可(kě)處于真空狀态,爐管内的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀态

· 進入爐管的氣體(tǐ)流量需小(xiǎo)于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長(cháng)時間使用(yòng)溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用(yòng)。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開洩氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)


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