A-Z晶體(tǐ)及材料 加熱爐系列 樣品處理(lǐ)設備 電(diàn)池制備設備 分(fēn)析檢測設備 其他(tā)實驗室設備 技(jì )術支持/服務(wù)培訓
爐體(tǐ)結構 | 爐體(tǐ)采用(yòng)雙層殼體(tǐ)結構,并帶有(yǒu)風冷系統 l 用(yòng)高純氧化鋁纖維作(zuò)為(wèi)爐膛材料,并且表面塗有(yǒu)高溫氧化鋁塗層(可(kě)提高加熱效率和延長(cháng)使用(yòng)壽命) l 加熱元件:摻钼鐵鉻鋁合金(表面塗有(yǒu)氧化锆塗層,可(kě)延長(cháng)使用(yòng)壽命) l 開啓式的爐體(tǐ)設計,使更換爐管更加方便 l 可(kě)手動變更爐體(tǐ)模式為(wèi)立式爐,用(yòng)于樣品的吊燒和淬火 |
電(diàn)壓&功率 | l 電(diàn)壓:AC220V,50/60Hz l 最大功率:12KW |
工(gōng)作(zuò)溫度 | 最高工(gōng)作(zuò)溫度1200℃ 連續工(gōng)作(zuò)溫度1100℃ 1200℃<半小(xiǎo)時 |
最大加熱速率 | 10℃/min |
石英管&管堵所放位置 | 爐管尺寸:OD: 100 mm×ID. 95mm×L2000mm 儀器中(zhōng)配有(yǒu)氧化鋁管堵,使用(yòng)時必須放在石英管兩端(點擊圖片查看詳細資料) |
密封法蘭 | 設備中(zhōng)配有(yǒu)一套快捷開啓式密封法蘭(爐體(tǐ)兩端帶有(yǒu)支架,用(yòng)于支撐法蘭) l 左端法蘭上安(ān)裝(zhuāng)不鏽鋼截止閥(用(yòng)于通入氣體(tǐ))和機械真空表 l 右端法蘭上安(ān)裝(zhuāng)不鏽鋼截止閥以及預留的KF25接頭(用(yòng)于連接真空泵) |
真空度 | l 10E-3Torr(采用(yòng)機械泵) l 10E-5Torr(采用(yòng)分(fēn)子泵) |
加熱區(qū) | l 10個溫區(qū),每個溫區(qū)長(cháng)度為(wèi)120mm l 總溫區(qū)長(cháng)度: 1570mm(含絕熱層) 注意:可(kě)通過在溫區(qū)之間添加絕熱環來調節溫度梯度 |
溫控系統 | l 控制櫃與爐體(tǐ)分(fēn)開,采用(yòng)觸摸屏來操作(zuò)來控制十個溫區(qū),每個溫區(qū)有(yǒu)獨立的控制通道。 l 每個控制通道可(kě)設置50段升降溫程序 l 設有(yǒu)超溫和斷偶保護 l 控溫精(jīng)度為(wèi):+/- 1 ºC l 熱電(diàn)偶:采用(yòng)K型铠裝(zhuāng)熱電(diàn)偶 l 控制面闆上安(ān)裝(zhuāng)有(yǒu)RS485接口,可(kě)連接電(diàn)腦将數據導出 |
可(kě)選 | l 客戶可(kě)選購(gòu)多(duō)通道質(zhì)量流量計供氣系統,用(yòng)于和管式爐配合來做CVD實驗 l 可(kě)選購(gòu)壓力控制系統,來确保爐管内氣壓恒定 |
産(chǎn)品尺寸 | 1980×1300×2500mm |
産(chǎn)品重量 | 200kg |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護(不含爐管、密封圈和加熱元件等損耗件) |
質(zhì)量認證 | 若客戶出認證費用(yòng),本公(gōng)司保證單台設備通過德(dé)國(guó)TUV認證或CAS認證 |
使用(yòng)注意事項 | l 爐管内氣壓不可(kě)高于0.02MPa l 由于氣瓶内部氣壓較高,所以向爐管内通入氣體(tǐ)時,氣瓶上必須安(ān)裝(zhuāng)減壓閥,建議在本公(gōng)司選購(gòu)減壓閥,本公(gōng)司減壓閥量程為(wèi)0.01MPa-0.1MPa,使用(yòng)時會更加精(jīng)确安(ān)全 l 當爐體(tǐ)溫度高于1000℃時,爐管内不可(kě)處于真空狀态,爐管内的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀态 l 進入爐管的氣體(tǐ)流量需小(xiǎo)于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 l 石英管的長(cháng)時間使用(yòng)溫度≤1100℃ l 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用(yòng)。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開洩氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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