A-Z晶體(tǐ)及材料 加熱爐系列 樣品處理(lǐ)設備 電(diàn)池制備設備 分(fēn)析檢測設備 其他(tā)實驗室設備 技(jì )術支持/服務(wù)培訓
名(míng)稱 | 1100℃雙溫區(qū)大口徑管式爐(6,8.5,11英寸管徑)GSL-1100X-XX-S2 |
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設備型号 |
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高純石英管尺寸 |
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石英舟(可(kě)選)最大可(kě)兼容8”直徑基片 |
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基本參數 | 熱偶:K型熱偶 建議升溫速率:≤10℃/min 溫度:1000℃ (1100℃<1h) 電(diàn)源:AC220,50Hz 最大8KW |
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加熱區(qū) | 規格1:加熱區(qū)長(cháng)度:600mm 雙溫區(qū):300mm+300mm 規格2:加熱區(qū)長(cháng)度:900mm 雙溫區(qū):450mm+450mm |
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爐體(tǐ)結構 | ·采用(yòng)雙層殼體(tǐ)結構,并帶有(yǒu)風冷系統 ·設備中(zhōng)配有(yǒu)2個氧化鋁管堵,設備使用(yòng)時必須把管堵塞入到爐管兩端(保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性)(點擊圖片查看詳細資料) ·高純氧化鋁纖維作(zuò)為(wèi)爐膛材料(表面塗有(yǒu)高溫氧化鋁塗層,可(kě)提高加熱效率延長(cháng)爐膛使用(yòng)壽命) ·該爐可(kě)作(zuò)為(wèi)退火或擴散爐,最大可(kě)用(yòng)于8”晶片放在對應石英舟中(zhōng) |
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加熱元件 | 摻钼鐵鉻鋁(表面塗有(yǒu)氧化锆塗層,可(kě)以極大程度延長(cháng)使用(yòng)壽命) |
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密封法蘭 | ·采用(yòng)鉸鏈式法蘭和O形密封圈加上機械泵可(kě)使真空度達到10-2Torr(參考值,詳情請點擊) ·可(kě)選購(gòu)一套溫度測試裝(zhuāng)置(铠裝(zhuāng)熱偶、補償導線(xiàn)和溫度儀表),用(yòng)于測試爐管内部的溫度 ·左側水冷法蘭:真空壓力表、不鏽鋼針形閥和1/4”寶塔嘴接頭 ·右側水冷法蘭:kf40真空接口,方便連接到kf40适用(yòng)的波紋管、泵和kf40擋闆閥。(如果您的泵是kf25接口,你需要一個kf40-kf25轉接頭) |
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溫控系統 | ·包含一款YD858P型溫度控制器 ·PID自動控溫系統 ·智能(néng)化50段可(kě)編程控制 ·控溫精(jīng)度:±1℃ ·兩個溫區(qū)分(fēn)别有(yǒu)兩個獨立的溫控系統控制 ·默認DB9 PC通信連接端口 ·通過MET認證 ·可(kě)選購(gòu)電(diàn)腦溫度控制軟件(用(yòng)于YD518P系列控制器)用(yòng)于控制升溫曲線(xiàn)和導出數據 |
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溫度校準(可(kě)選) | ·定期對管式爐進行溫度校準,可(kě)保持溫度的準确性和均勻性。您可(kě)以在我公(gōng)司選購(gòu)一個簡單的校準工(gōng)具(jù)包,輔助您完成這項工(gōng)作(zuò),完整的校準套件包括 ·48”L(1/4”OD)K型熱電(diàn)偶校準 ·一Omega溫度校準器 ·熱電(diàn)偶補償線(xiàn) ·你可(kě)以考慮分(fēn)子泵,真空度可(kě)達10-5Torr
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外形尺寸 | 規格1:1880 L x 700W x 930 H mm 規格2:2180 L x 700W x 930 H mm |
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淨重 | 約200 kg |
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質(zhì)保期 | 一年保修,終身技(jì )術支持。
2.因使用(yòng)腐蝕性氣體(tǐ)和酸性氣體(tǐ)造成的損害不在保修範圍内。 |
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真空系統 | ·多(duō)種真空系統可(kě)選 ·可(kě)選購(gòu)一個冷真空阱,以避免真空泵造成污染 |
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質(zhì)量認證 | 若客戶出認證費用(yòng),本公(gōng)司保證單台設備通過德(dé)國(guó)TUV認證或CAS認證。 |
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使用(yòng)注意事項 | ·爐管内氣壓不可(kě)高于0.02MPa ·由于氣瓶内部氣壓較高,所以向爐管内通入氣體(tǐ)時,氣瓶上必須安(ān)裝(zhuāng)減壓閥,為(wèi)了确保安(ān)全,建議使用(yòng)壓力低于0.02MPa,建議在本公(gōng)司選購(gòu)減壓閥,本公(gōng)司減壓閥量程為(wèi)0.01MPa-0.1MPa,使用(yòng)時會更加精(jīng)确安(ān)全 ·當爐體(tǐ)溫度高于1000℃時,爐管内不可(kě)處于真空狀态,爐管内的氣壓需和大氣壓相當 ·進入爐管的氣體(tǐ)流量需小(xiǎo)于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ·石英管的長(cháng)時間使用(yòng)溫度<1100℃ ·對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用(yòng)。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開洩氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等) |
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應用(yòng)提示 | ·為(wèi)了在管式爐内獲得準确的溫度,在使用(yòng)前需要校準溫度,請點擊這裏了解如何使用(yòng) |
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